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半导体 | 基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰
海洋光谱仪基于光学发射光谱，助力半导体制程良率提升
2023-10-19
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精确跟踪芯片蚀刻过程，用高分辨率光谱仪监测等离子体
有效提高芯片良率和产能...
2022-12-06
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赋能半导体、新材料等行业现代化进程，海洋光学推出新一代光纤光谱仪Ocean ST
新一代“掌中光谱仪”，性能尺寸一把抓...
2022-12-06
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半导体 | LIBS系统在半导体器件加工过程检测中的应用
我们分析了样品光谱仪的基底Si元素谱线的变化趋势，发现Si元素...
2022-11-30
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【微光谱应用】光纤光谱仪测膜厚应用分享
两列或几列光波在空间相遇时互相叠加，引起光强的重新分布，在某些区域始终加强，在某些区域始终减弱，从而出现了明暗相间或彩色的条纹，这种现象称为光的干涉。
2022-09-21
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【微光谱应用】使用光纤光谱仪进行等离子体监测
半导体工业中，我们通过光刻技术制造和控制晶圆。其中蚀刻是该过程的主要环节，当在晶圆表面蚀刻时，可使用等离子体监测跟踪蚀刻穿过晶圆层
2022-09-21
